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  • 全新G-3000系列200mm/300mm全自動清洗刻蝕設備
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    • 設備用途:
    • 用于生產制備環節的產品刻蝕清洗,確保產品的工藝潔凈度滿足工藝指標,全過程為全自動運行;
    • 輔助條件:
    • 超聲、兆聲、循環、冷卻、振蕩、旋片、鼓泡、干燥等
    • 面對行業:
    • 半導體、先進封裝、MEMS等,依據客戶的需求,提供專業的定制設備
    • 設備特點:
    • ★ 軟件和硬件的模塊化設計可以支持在工藝變動時增減更換模塊,減少設備投資風險
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    • ★ 全電腦控制系統可提供無限的存儲空間,實時記錄生產數據,提供多種數據分析功能
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    • ★ 支持EFEM, SMIF自動傳輸,軟件具有GEM/SECSII接口,提供EAP功能
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    • ★ 發明專利的配液系統,實現1%的配液精度,更改濃度配比可直接在軟件里輸入所需的體積
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    • ★ 改進的夾持機構能防止急停時片籃掉落
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    • ★ 德國Beckhoff伺服控制系統增強了抗電磁干擾的能力
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    • ★ 采用以太網控制自動化技術簡化了大量的線纜及傳感器的使用,提升設備的可靠性
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    • ★ 軟件支持同時運行不同的菜單,保證產能最大化
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    • ★ 工藝需要時,傳遞花籃時間(槽內到另一槽內)可以縮短至4秒
    • 可選配置:
    • ▲濃度監測系統 ▲化學品集中供應系統 ▲CO2滅火系統 ▲廢液回收系統
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